旭硝子将量产TFT大型光掩模石英底板

       日本旭硝子宣布，将开始销售用于TFT液晶面板的大型光掩模石英底板。通过采用该公司积累的合成石英制造技术，可生成质量高且成本低的光掩模。计划从2011年开始在福岛县的AGC Electronic生产，力争2014年实现30亿日元的销售额。

       旭硝子此前已将合成石英的制造加工技术应用到了ArF激光器中的合成石英透镜材料等半导体产品中。此次进一步将该技术应用于要求大型化的液晶用途，新开发出了大型光掩模石英底板。还支持采用第10代以上大型底板的液晶制造工艺（玻璃底板尺寸为2800mm×3000mm，光掩模尺寸为1620mm×1780mm），另外，还能以比原产品更低的成本进行生产。

（编辑 Akira）