AMAT推出用于制造高精显示屏的CVD装置

美国应用材料（AMAT）于当地时间2011年3月7日发布了等离子CVD装置“AKT-20K PX”，用于制造智能手机和平板终端使用的高精细显示屏。该装置可制造有源矩阵型有机EL面板和液晶面板使用的低温多晶硅TFT阵列。支持第5.5代的1300mm×1500mm基板。另外，该基板尺寸与韩国三星移动显示器在2011年开始量产的有机EL面板工厂中使用的玻璃基板相同。

用于低温多晶硅TFT面板的等离子CVD装置“AKT-20K PX”

AMAT公司副总裁兼平板显示事业部总经理Tom Edman表示：“此次的等离子CVD装置已经面向主要显示屏厂商供货多台”。目前，智能手机使用4～5英寸的有机EL面板。关于有机EL，AMAT表示：“预计今后新一代平板终端将采用7～12英寸的面板，为了满足这种需求，需要大幅扩大产能”。

AMAT公司预定在上海举办的“FPD China 2011”上展出此次发布的等离子CVD装置AKT-20KPX。